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    光刻膠形貌的三維重建方法

    1198   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:58:50
    本發明提供了一種光刻膠形貌的三維重建方法，本發明通過無損測量方式獲得所述采集區域的光刻膠線條在第一傾角下的第一二維圖像使得其無需破壞晶圓進行制樣，消除了樣品的成本，還使得其不會出現由于切片造成的光刻膠圖形出現移位、拉伸、改變原本形貌等問題，從而提高了測量精度，同時，在獲取第一二維圖像和第二二維圖像時，均通過機器自動完成，無需通過人工操作，因此不存在人員測量差異，還降低了人工的成本。并通過本發明的方法使得重建的所述采集區域的光刻膠線條的三維圖像的過程通過軟件實現，其也是機器自動完成，無需通過人工操作，大幅度縮短檢測周期，加快了工藝研發進度。
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    聲明：
    “光刻膠形貌的三維重建方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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