本實用新型提供了一種高穩定性單晶硅壓差傳感器,包括傳感器、傳感器接口和隔離片,傳感器上方中部固定連接有傳感器接口,傳感器左右兩側均固定連接有隔離片,通過硅油腔內部左右兩側均固定設有液位傳感器設置,硅油進行壓力的無損傳遞,以實現對壓力差的精確測量,從而有效改善了壓差傳感器的靜壓性能,進而使得上述壓差傳感器的工作穩定性得以提高,且液位傳感器設置能有效監測到硅油的含量多少,便于及時添加,達到傳感器工作及時供給,促進提升工作效率,解決了現有的壓差傳感器其在檢測過程中,往往由于傳感器的內部結構以及芯片的布局,導致傳感器的靜壓性能效果不好,從而致使傳感器在工作過程中的工作穩定性較差的問題。
聲明:
“高穩定性單晶硅壓差傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)