本發明公開了一種超強度微針陣列制造方法,包括以下操作步驟:S1:將PMMA微針陣列作為原始模具,利用移動X射線曝光并制作PMMA微針;S2:將S1制作得到的PMMA微針通過PDMS轉模形成二次模具,在PDMS的基礎上涂一層導電材料,并且將鉻/銅在PMMA微針表面進行濺射,從而制作PMMA微針陣列鉻/銅種子層;S3:在S2的基礎上進行鎳/金剛石復合電鍍;并且在鎳/金剛石復合電鍍的過程中加入坑抑制劑。通過上述方式,本發明所設計的鎳/金剛石微針陣列具有無損傷,高強度,易操作的優勢,金剛石針尖有助于使量子納米傳感變得更具成本效益和實用性,也可用于進行諸如電磁場、溫度或應力的高靈敏度納米級測量。國內這種超強度的微針陣列尚有欠缺,發展前景廣闊。
聲明:
“超強度微針陣列制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)