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    連接探針、其制備方法及在微電極陣列連接中的用途

    985   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:22
    本發明公開了一種連接探針、其制備方法及在微電極陣列連接中的用途。屬于微電極陣列技術領域。本發明的連接探針包括基底以及位于所述基底上且間隔設置的陣列單元，所述陣列單元包括由下到上的金屬種子層和金屬鍍層。本發明利用傳統的MEMS工藝，創新設計，解決了高密度微電極陣列難以進行電學測試和可靠性測試，或在進行測試過程中會損傷微電極陣列的問題。利用MEMS加工制備精度高，微型化等特點，可制備用于高密度柔性微電極測試的探針，可達到無損測試效果，而且，本發明的連接探針使用可逆，測試完成后取下可重復使用。
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    “連接探針、其制備方法及在微電極陣列連接中的用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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