本實用新型公開了一種對位裝置,該對位裝置包括底座、升降旋轉裝置、XY方向滑移臺、以及電路板;所述升降旋轉裝置與所述底座相匹配,且相對于所述底座上下移動,待測晶片固定于所述升降旋轉裝置上;所述XY方向滑移臺嵌入所述底座上,相對于所述底座沿X方向及Y方向移動;所述電路板為無色透明電路板,安裝于所述XY方向滑移臺的底面,所述電路板的尺寸與待測晶片的尺寸匹配,且所述電路板上制作有凸點;在使用過程中,只需將待測晶片的電極與凸點進行連接即可進行芯片測試,從而可實現無損害測試,并且可同時測量多個電極,且使用靈活方便。
聲明:
“對位裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)