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    太陽能電池用光致化學沉積裝置

    775   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:24
    一種太陽能電池用光致化學沉積裝置，包括補液系統、沉積系統，所述補液系統包括放置反應溶液的補液腔體，所述補液腔體內的底部安裝有第一加熱裝置，其上部安裝有第一在線溫度監測裝置，所述補液腔體上設有將液體輸送至沉積系統的液體輸出管道，其內在液體輸出管道的上方設有過濾裝置，所述液體輸出管道上安裝有液體流量計；所述沉積系統包括沉積反應腔體，所述沉積反應腔體的底部安裝有第二加熱裝置、鼓泡裝置、時間控制器以及循環裝置，所述沉積反應腔體內安裝有將硅片固定在沉積反應腔體內的真空吸附裝置，其上方安裝有第二在線溫度監測裝置及光照系統。本發明的有益效果：可用于低成本，無損傷二氧化硅薄膜的沉積。
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