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    用于評估互連結構的特性的方法

    726   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:24
    本發明提供了一種評估互連結構的特性的方法。所述方法包括以下步驟：測量所述互連結構中的包括阻擋層和低介電常數材料層的疊層體的橢偏光學參數；采用雙層模型對所測得的疊層體的橢偏光學參數結果進行擬合，以計算所述疊層體中的低介電常數材料層的特征值；將低介電常數材料的原始特征值和計算得到的所述疊層體中的低介電常數材料層的特征值進行比較；根據比較結果評估所述疊層體中的雜質的量。本發明的方法簡單、快速且無損。而且，相比于現有技術，本發明的方法不僅可以提供有關金屬滲透的信息，還可以提供關于低k損傷和水分吸附的信息。
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    “用于評估互連結構的特性的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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