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    閃存芯片漏電失效分析的方法

    989   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:29
    本申請一種閃存芯片位線間漏電失效分析的方法，涉及芯片失效分析領域，通過采用非破壞性分析工藝，將FIB切分工藝和奈米級探針量測工藝相結合，在完全不破壞前端工藝所有材料的狀況下，直接定位出失效的栓塞處，且其可檢測位于栓塞不同位置的橋連(如位于栓塞頂部、中間或其他任何位置處的橋連)，并能夠獲得較好的TEM樣品，以便于后續TEM的精準觀測，即在有效提高失效分析的可靠性的同時，還能大大降低失效分析所花費的時間及工藝成本等。
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    失效分析
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