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    集成電路的背面光學失效定位樣品制備方法及分析方法

    914   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:29
    本發明公開了一種集成電路的背面光學失效定位樣品制備方法，包括：步驟1、對樣品進行開、短路測試，使用測試儀ATE機臺施加一個電流，來判斷電壓是否在正常的范圍，確定開短路測試電壓是在正常的范圍后進行下一步分析；步驟2、使用手動研磨機臺對失效樣品的背面塑封材料進行研磨；步驟3、開封后使用超聲波清洗器對器件進行清洗，將殘留在芯片背面的殘渣去掉，并選用常溫恒溫，進行8～15分鐘超聲清洗，得到干凈的樣品并自然干燥；步驟4、再次使用ATE(自動測試儀)測量樣品的電學特性參數，確認樣品的特性與制樣前完全一致。本發明能大大提高無損開封的成功率及失效分析的速度。本發明還涉及該樣品的失效分析方法。
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    聲明：
    “集成電路的背面光學失效定位樣品制備方法及分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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