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    器件失效定位分析方法

    941   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:30
    本申請涉及失效分析技術領域，具體公開一種器件失效分析定位方法，包括：對掃描探頭進行校準，獲取校準數據；控制掃描探頭對待測器件進行掃描，并獲得第一參數信息，第一參數信息用于表征待測器件掃描高度平面的電磁場信息；根據第一參數信息和校準數據，確定待測器件目標高度平面的電磁場信息；根據待測器件目標高度平面的電磁場信息，確定待測器件表面的電學分布；根據待測器件表面的電學分布，確定待測器件的失效位置?；陔姶抛⑷牒吞綔y的原理，結合待測器件表面的電磁場信息實現對待測器件的失效位置的分析，相對于傳統的失效分析方法而言，成本較低，且無需對待測器件進行破壞，整體失效定位方法可靠性較高。
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    聲明：
    “器件失效定位分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    失效分析
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