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    > 通孔鏈結構的失效分析方法

    通孔鏈結構的失效分析方法

    1144   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:30
    本發明一種通孔鏈結構的失效分析方法，包括：提供待分析樣品，所述待分析樣品中具有通孔鏈結構，所述通孔鏈包括半導體襯底、金屬線和位于半導體襯底與金屬線之間的接觸電極，所述半導體襯底與接觸電極之間電連接良好；對所述樣品進行切割，使得切割后的樣品的一個側面與通孔鏈接的一側的距離為1-10微米；對切割后的樣品進行平面研磨至露出金屬線的表面；在樣品表面沉積金屬層，所述金屬層覆蓋金屬線的表面；將金屬層接地；將樣品放入聚焦電子束，利用沿平行于半導體襯底的厚度的方向對樣品進行垂直切割，將位于接觸電極下方的半導體襯底去除，露出接觸電極的底部；從接觸電極的底部對接觸電極和金屬線進行電壓襯度失效定位分析。
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    聲明：
    “通孔鏈結構的失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    失效分析
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