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    用于芯片失效分析中定位的背面觀察基座及使用方法

    810   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:31
    本發明提供了一種用于芯片失效分析中精確定位的背面觀察基座,其包括金屬支架,所述金屬支架的中心設有中心孔,在該中心孔中安裝有玻璃片,在所述玻璃片上還設置有用于提供基準坐標的兩個特殊標記,所述兩個特殊標記為蝕刻于或粘貼于所述玻璃片上的,其位置為所述背面觀察基座的玻璃片上的任何位置且可被設置為相同或者不同的形狀。由此,在失效分析分析中,在PEM/OBIRCH采用背面模式定位異常點時能夠在正面位置準確找到并記錄異常點位置。本發明還涉及采用該背面觀察基座在芯片失效分析中進行精確定位的方法。
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