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    基于納米壓入測試技術的超薄銅膜疲勞失效預測方法

    896   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:33
    本發明公開了一種基于納米壓入測試技術的超薄銅膜疲勞失效預測方法，屬于薄膜疲勞失效預測方法。本發明的超薄銅膜疲勞失效預測方法的具體步驟如下：采用磁控濺射技術制備組織均勻的銅薄膜；將薄膜放在納米壓痕儀上，設定載荷平均值、載荷幅值、加載頻率后進行測試；測試并記錄薄膜的存數剛度隨時間的變化關系；然后分析實驗結果，找出數據中存數剛度變化的轉折點；得出銅薄膜發生疲勞失效的時間。本發明利用DMA組件實現基于納米壓入測試技術的超薄銅膜疲勞失效預測方法，該方法操作簡單，結果準確有效，適應性強。
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