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    定位測試結構失效位置和原因的方法

    753   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:33
    本發明涉及定位測試結構失效位置的方法，涉及半導體集成電路失效分析技術，首先獲得測試結構的失效模型，然后將測試結構中的器件結構中的PN結開啟，利用顯微鏡定位到存在PN結導通區域的測試結構組，而可快速定位到目標區域，最后根據失效模型向器件的失效模型對應的端子施加測試信號，獲得對應端子的測試信號的異常發光點，并將倍率逐漸放大，進而鎖定到失效位置，如此通過PN結開啟可快速定位到目標區域，然后通過切換測試條件而快速鎖定到失效位置，且可避免現有技術中的因背景噪聲信號較大，會淹沒失效點信號，而無法定位的問題。
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    聲明：
    “定位測試結構失效位置和原因的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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