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    鏈式通孔結構樣品處理方法及失效測試方法

    1078   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本發明提供一種鏈式通孔結構樣品處理方法及失效測試方法，包括：提供一鏈式通孔結構初始樣品，所述鏈式通孔結構初始樣品包括第二銅金屬層，鉭層，形成于通孔中且位于所述鉭層上的銅插塞；對所述鏈式通孔結構初始樣品進行研磨，直至暴露所述第二銅金屬層；采用濕法刻蝕工藝去除所述第二銅金屬層和所述銅插塞，形成鏈式通孔結構測試樣品。本發明采用濕法刻蝕工藝去除第二銅金屬層中的銅和銅插塞，留下鉭層，避免了金屬銅的短路現象，又因為鉭層中含有金屬鉭滿足聚焦離子束顯微鏡的使用要求，從而對鏈式通孔結構失效位置定位。
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