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    MEMS器件原位實時測試塢及失效故障溯源方法

    869   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本發明涉及MEMS器件，具體是一種MEMS器件原位實時測試塢及失效故障溯源方法。本發明解決了當MEMS器件發生失效故障時無法原位實時地獲知引發失效故障的環境應力類型的問題。一種MEMS器件原位實時測試塢，包括測試座板、電池、電源管理芯片、MEMS器件、傳感器陣列、模數轉換器、微處理器、存儲器、無線發射器、無線接收器、上位機；所述傳感器陣列包括溫濕度傳感器、氣壓傳感器、磁場傳感器、高度傳感器、振動傳感器、頻率傳感器、電壓采集器、電流采集器、功率采集器。本發明適用于航空、航天、國防等領域。
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    “MEMS器件原位實時測試塢及失效故障溯源方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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