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    分柵快閃存儲器及避免其編程串擾失效的方法

    1108   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:34
    本發明提供了一種分柵快閃存儲器及避免其編程串擾失效的方法，包括：提供管芯，所述管芯包括襯底、形成于所述襯底上的隧穿氧化層；在所述隧穿氧化層表面形成字線層，所述字線層的厚度H0＝H1+ΔH，其中，H1為制程設定的需要形成的字線層厚度，ΔH為制程監控測試中量測出的字線層厚度H2與實際的字線層厚度H3的差值。本發明所提供的分柵快閃存儲器及避免其編程串擾失效的方法，通過數據分析分析出制程監控測試中量測的字線層厚度與實際字線層厚度之間的差值，讓字線層在形成時，補償這一差值，使字線層的厚度達到所需要的要求，從而避免分柵快閃存儲器由于字線層厚度過薄而出現編程串擾失效。
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