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    短路失效的定位方法

    958   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:36
    本發明提供了一種短路失效的定位方法，用于定位第一金屬線與第二金屬線之間的短路點，上述定位方法包括：測量第一金屬線和第二金屬線之間的電阻，通過電阻比例將上述短路點定位在第一區域。在第一區域中，通過逐漸將第一金屬線和第二金屬線切割并且電氣隔離切割后的部分，以及基于二分法的原理對上述第一金屬線和上述第二金屬線執行多次電壓襯度分析，逐漸逼近所述短路點，從而精確定位到上述短路點。通過本發明提供的定位方法，能夠從極長的兩根第一金屬線和第二金屬線中精確地找到nA級別的短路缺陷所在的區域。有助于基于上述缺陷調整工藝，提高半導體器件的良率。
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    聲明：
    “短路失效的定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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