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    多區立式爐的實時監視與及早識別熱區元件的失效

    725   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:37
    本發明旨在幫助避免在熱處理時的晶片損失。晶片具有每批高達150000歐元的價值。因此，應不再出現用于處理晶片的熱學裝置的意外失效。監控用于對晶片組或晶片批次進行容納和退火的(多個)熱學裝置100的所提出的方法在熱學裝置的多個加熱區1′、2′、3′、4′、5′中的至少一個加熱區1′中使用對電阻值R1持續施加的測量。將在所屬的加熱區1′中的電阻1的各當前測量的值R1(i)與同一電阻1的之前測量的值R1(i?1)進行比較。在出自相同的加熱區1′的兩個電阻值通過比較檢測出偏差ΔRi的情況下就已生成用于熱學裝置100的警告或警報90，所述警告或警報在時間上處于在熱學裝置100中的整個加熱區1失效之前。另一目的是資源的更好的可規劃性。
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