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    失效點定位方法

    957   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:38
    本發明的一種失效點定位方法，包括：在硅襯底上選取測試結構區域；在測試結構區域中形成互連層結構，該互連層結構的上、下方不設置偽金屬結構；選取該互連層結構作為測試結構，采用光誘導電阻變化技術對該測試結構進行失效點定位；其中，互連層結構的形成方法包括：設計光刻版圖案，測試結構區域中的互連層結構圖案上、下方不設置偽金屬結構的圖案；在硅襯底上形成介質層；利用光刻版為模版，經光刻和刻蝕，在介質層中形成互連層結構，互連層結構上、下方不具有偽金屬結構。本發明的方法，去除了偽金屬對激光束的阻礙，激光束可以直接照射到測試結構上，儀器能夠接收到準確的反饋信號，從而提高了失效點定位準確率。
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    “失效點定位方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    失效分析
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