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    晶圓失效功能的關系的確定方法和裝置

    879   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:38
    本發明實施例提供了一種晶圓失效功能的關系的確定方法和裝置。該方法包括，根據對晶圓進行功能測試的晶圓測試結果，獲取晶圓中的多個失效單元的失效功能和位置；將多個失效單元的失效功能，分別轉化為多個第一向量；根據多個第一向量、以及多個失效單元的位置，確定多個失效單元各自對應的第一數據；根據多個所述第一數據,利用聚類算法，獲取第一結果，所述第一結果用于指示晶圓失效功能之間的關系。
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