• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 失效分析技術

    > 基于三維TEM樣品進行缺陷分析的方法

    基于三維TEM樣品進行缺陷分析的方法

    720   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:56
    本發明涉及半導體制造領域，特別涉及一種基于三維TEM樣品進行缺陷分析的方法。包括以下步驟：提供帶有缺陷的半導體樣品；在待觀測區域形成第一標記；橫向電鍍第一鉑金保護層；制備第一TEM樣品；測量缺陷到第一標記的距離；將第一TEM樣品放置到半導體樣品上；縱向電鍍第二鉑金保護層；制備三維TEM樣品；三維TEM成像。本發明的技術方案，在制備三維TEM樣品的基礎上，進行兩個方向的TEM觀測和成像，可以得到半導體制程中缺陷的形貌、大小、所處層次等全面信息，進行對所述缺陷進行準確失效分析，從而提出對半導體制程的可靠改進意見；本發明的技術方案操作方法簡單，三維TEM樣品制備效率高，對TEM樣品進行失效分析效果好，準確率高。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “基于三維TEM樣品進行缺陷分析的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    失效分析
    上一個：存儲單元的故障定位分析方法、裝置、存儲介質和終端
    下一個：含錯位高強低匹配承載十字焊接接頭疲勞定量分析方法

    與 “基于三維TEM樣品進行缺陷分析的方法” 相關技術

    ? 利用側吹爐處理銅陽極泥的工藝
    ? 處理高鎳銅精礦的冶煉工藝及裝置
    ? 氮摻雜樹脂碳材料、制備方法及其應用
    ? 防堵塞格柵清污機
    ? 污水處理池前置過濾清理裝置
    ? 回轉式格柵清污機驅動系統
    ? 反撈式格柵清污機
    ? 旋轉式格柵清污機
    ? 循環式齒耙格柵清污機
    ? 回轉式格柵清污機

    相關失效分析設備推薦

    土壤酸度水分計（SDT-60，SDT-300）
    便攜式RoHS檢測
    泵吸式手持氣體檢測儀
    恒溫恒流大氣采樣器
    三層土壤墑情監測系統 土壤測試儀
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?利用側吹爐處理銅陽極泥的工藝
    ?處理高鎳銅精礦的冶煉工藝及裝置
    ?氮摻雜樹脂碳材料、制備方法及其應用
    ?防堵塞格柵清污機
    ?污水處理池前置過濾清理裝置
    ?回轉式格柵清污機驅動系統
    ?反撈式格柵清污機
    ?旋轉式格柵清污機
    ?循環式齒耙格柵清污機
    ?回轉式格柵清污機

    報名參會
    更多+

    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025鉛鋅產業市場研討會
    2025年08月07日 ~ 09日
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
    2025年08月08日 ~ 10日
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
    2025年08月14日 ~ 16日
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    第四屆全國難熔金屬及硬質合金技術研討會
    2025年08月15日 ~ 17日
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025中蒙“一帶一路”礦業領域國際合作論壇
    2025年08月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:140
    2 取、制樣安全淺析
    下載:132
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:97
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:96
    7 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:93
    8 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:91
    10 制樣室裝修設計技巧
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>