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    雙極IC中集電極發射極漏電的三極管檢測方法

    1123   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 08:59:59
    隨著微電子技術的高速發展，集成電路的規模越來越大。由于制造工藝的原因，電路失效是無法避免的存在，如何快速準確地查找失效部位是失效分析工作的重點?，F在一般通過EMMI（紅外發光顯微鏡）、OBIRCH（激光掃描顯微鏡激光誘導電阻率變化）、離子探針等技術來定位漏電失效部位，但這些方法儀器昂貴、成本高、周期長。本發明利用IC不同濃度的摻雜區在被氧化腐蝕時所處的電位不等，反應速率不一樣，經腐蝕后表面產生不同的顏色；而當存在漏電通路時，由于處于同一電位，腐蝕速率相同，顏色就會表現一樣的原理。通過氫氟酸與硝酸混合液對IC中的硅產生持續腐蝕作用，提供了一種分析方便、成本低廉、可靠性高的IC中集電極發射極漏電的三極管檢測方法。
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