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    檢測半導體器件熱載流子效應的方法

    930   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:01
    一種檢測半導體器件熱載流子效應的方法,包括:選取退化表征量;在各個電應力條件下,在至少兩個測量段內測量所述退化表征量,其中在各測量段內至少獲得三個測量值;根據所述退化表征量的測量值,獲得斜率隨所述退化表征量變化的關系,其中所述斜率表示所述退化表征量隨時間變化的關系;選取估算段內的各個估算時間點;根據所獲得的斜率隨所述退化表征量變化的關系,獲得各個估算時間點的退化表征量的估算值;在失效標準兩端至少各選取一個估算值,求得失效標準對應的時間。根據所述方法估算器件壽命的檢測結果更精確。
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