本發明涉及一種磁懸浮分子泵徑向保護軸承檢測裝置及方法,其中裝置包括:模擬轉子,由絕緣材料制備,裝入磁懸浮分子泵中,其轉動時能帶動徑向保護軸承內圈轉動;導電部件,與所述徑向保護軸承內圈連接;電容表包括兩個接線端子,其中第一接線端子與所述導電部件連接,第二接線端子與所述泵體連接;所述電容表測量所述徑向保護軸承內圈與所述泵體之間的電容值。通過本發明提供的裝置測量徑向保護軸承內圈和泵體之間的電容變化情況即可以有效獲得保護軸承的當前狀態信息,避免保護軸承失效造成的惡性事故。本發明提出的磁懸浮分子泵檢測方法,檢測效率高、成本低,可以有效的避免由于保護軸承失效引起的惡性事故及相關經濟損失。
聲明:
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