本實用新型涉及一種檢測裝置,屬于微型電子器件技術領域。該裝置包括:待測試金屬結構部件;設置于所述待測試金屬結構部件上的聲阻擋層;設置于所述聲阻擋層上的聲表面波傳感器,在對所述待測試金屬結構部件進行測試時,所述聲阻擋層使所述聲表面波傳感器產生的聲表面波作用于所述待測試金屬結構部件的表面。該檢測裝置將聲表面波傳感器與待測試的金屬結構件集成在一起,解決了采用粘結劑可能會發生開裂、崩落等現象,導致聲表面波傳感器的失效、損壞甚至脫落的技術問題,同時,通過聲阻擋層使聲表面波傳感器產生的聲表面波作用于待測試金屬結構部件的表面,而不在金屬結構件內部傳播,使得傳感器具有更高的品質因數、諧振性能和測試靈敏度。
聲明:
“檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)