一種電遷移測試裝置、電遷移測試系統及其測試方法,其中電遷移測試裝置包括:用于實現與所述待測結構的電連接的連接金屬層;用于向所述待測結構施加測試電壓的加載電極;用于獲得所述待測結構在測試條件下感測電壓的感測電極;用于對所述待測結構進行加熱的加熱器件。本發明通過獨立的加熱器件使所述待測結構的溫度達到所述測試條件,從而使溫度對所述待測結構的電遷移的影響與電流對所述待測結構電遷移的影響分開,能夠提高所獲得的所述待測結構的激活能和電流密度指數的準確性,進而提高所獲得的所述待測結構在工作情況下失效時間的準確性,有效提高電遷移測試的準確性。
聲明:
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