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    原位力熱電多場耦合測試芯片及其制備方法

    752   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:12
    本發明公開了一種原位力熱電多場耦合測試芯片及其制備方法，包括第一靜電執行器、第二靜電執行器、與第一靜電執行器連接的第一加熱梁、與第二靜電執行器連接的第二加熱梁；第一靜電執行器上設置有第一樣品臺，第二靜電執行器上設置有第二樣品臺；第一加熱梁與中心軸線垂直，且與第一樣品臺連接，用于給第一樣品臺加熱；本發明芯片集成了力、熱、電三種物理場耦合加載功能，實現如下功能：待測樣品電學參數、力學參數與溫度場間的準靜態單參數或多參數耦合測試；待測樣品平面拉伸下的蠕變、疲勞特性分析與溫度場間的耦合測試；待測樣品在不同溫度場下的疲勞特性與電學參數、力學參數之間的耦合關系規律分析，待測樣品的可靠性失效分析等。
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    “原位力熱電多場耦合測試芯片及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    失效分析
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