本發明屬于半導體存儲器測試技術領域,公開了一種半導體存儲器老化測試系統及方法,其系統包括測試核心板和測試板;測試核心板根據上位機指令生成測試信號和電源信號進行調整后提供給DUT,并將DUT輸出信號與預設值比較得到初步測試結果分區存儲,并上傳到上位機;測試板用于承載DUT,為DUT提供時鐘信號和片選信號,單塊測試板設置有多個測試位,DUT老化測試可單顆進行或多顆DUT同時進行;其方法通過在測試核心板上輸出各種類型的測試信號,并對測試信號進行延時調整、加強驅動、波形控制等處理,以及對電源信號進行補償,對測試結果通過分區設置的存儲區分別存儲,實現老化測試中對單個DUT測試過程控制的管理和失效分析的功能,并增加了DUT同測數,減少了測試資源開銷。
聲明:
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