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    ESD通路探測方法及系統

    1192   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:13
    一種ESD通路探測方法及系統,所述方法包括:當待測試芯片泄放ESD電流時,對所述待測試芯片因泄放ESD電流產生的光子進行探測;基于探測得到的光子的位置信息,獲得ESD通路影像;基于所述ESD通路影像,確定所述待測試芯片中對應的ESD通路是否正常。上述的方案,可以對待測試芯片中ESD通路進行定位,滿足對待測試芯片ESD通路失效原因的分析需求。
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