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    用于除錯的金屬連線測試結構

    1055   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:14
    本實用新型提出了一種用于除錯的金屬連線測試結構，包括：多層層間金屬層、介質層、金屬插塞和頂層金屬層，介質層隔離開多層層間金屬層和頂層金屬層，相鄰的層間金屬層之間、層間金屬層和頂層金屬層之間均通過金屬插塞相連；頂層金屬層包括相連的直線段和彎曲段，直線段位于層間金屬層正上方的介質層上，彎曲段繞開層間金屬層正上方的介質層，暴露出層間金屬層正上方的介質層；暴露出層間金屬層正上方的介質層，便于FIB避開厚度較厚的頂層金屬連線，可以直接在介質層和層間金屬連線處進行電路編輯，降低了FIB電路編輯的難度，從而有益于失效分析。
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