本發明公開了一種具有傳動輥在線監測功能的真空設備,包括:真空腔體;安裝于真空腔體內的傳動輥單元,傳動輥單元具有傳動輥和延伸于真空腔體外的輸入端;傳動連接傳動輥單元輸入端的驅動裝置;監測裝置,監測裝置具有安裝于真空腔體兩側的監測單元,兩個監測單元之間于真空腔體內形成一檢測路徑;對應監測單元安裝于傳動輥上的被監測零件,被監測零件在轉動過程中可遮擋和避開監測單元的檢測路徑。本發明能夠實現在線直接監測傳動鏈終端零件——傳動輥的工作狀態,同時不降低傳動輥的力學性能,及時給出具體傳動輥單元失效的報警信號,確保設備及時采取應對措施,避免故障造成更大損失。
聲明:
“具有傳動輥在線監測功能的真空設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)