本發明涉及材料測試技術,尤其涉及種柔性基底薄膜梯度變形的力學性能原位測試輔助裝置,包括有夾持機構、梯度載荷加載機構以及精密檢測單元。本發明通過曲柄滑塊機構,將滑塊直線移動轉化為薄膜試件加載梯度載荷,分布梯度的應力應變,原子力顯微鏡直接觀測不同應力應變下薄膜的微觀結構變化,從而得到樣品的宏觀力學性能。本發明可復現薄膜材料受梯度載荷的工況,可原位觀測梯度受力下,薄膜不同形變與基底結合力,膜基結合能,在同一測試環境下,比對不同形變,找出膜基結合臨界狀態,及失效時薄膜形貌變化,測量整個過程中的形變學、變形機制和力學性能,是研究新型薄膜材料在此工況下的彈性模量、內應力和結合能有力試驗工具。
聲明:
“柔性基底薄膜梯度變形的力學性能原位測試輔助裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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