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    存儲器芯片上測試單個比特的方法

    783   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:22
    本發明提供了一種存儲器芯片上測試單個比特的方法，包括步驟：提供存儲器芯片，將所述存儲器芯片減薄到目標比特的字線層；在所述字線層的柵極上形成導電層；提供測試信號給所述導電層，通過探針測試單個比特的電氣特性。在本發明提供的存儲器芯片上測試單個比特的方法中，首先將存儲器芯片減薄到字線層，暴露出字線層的柵極，在柵極上形成導電層，然后通過給所述導電層提供測試信號，可實現將所有連接導電層的柵極打開，再通過探針測試單個比特的電氣特性，完成存儲器芯片上單個比特的失效測試。
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    聲明：
    “存儲器芯片上測試單個比特的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    失效分析
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