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    MSM型金剛石快中子探測器

    1021   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:24
    本實用新型公開一種MSM型金剛石快中子探測器的設計,該探測器包括底層和頂層Ti/Al歐姆接觸電極層,金剛石單晶層,Si3N4絕緣層,SiO2鈍化層,PCB板,鋁線,導電銀漿和SMA接頭。通過SMA接頭引出探測器與后級電子學的連接,收集快中子與金剛石產生的電荷。在頂層電極的表面沉積了一層SiO2鈍化層,防止器件機械性損傷,有助于表面沾污時清洗,保護水汽環境中器件失效。Ti/Al金屬的厚度為50/800nm。由于金剛石是目前已知的半導體材料中最耐輻照耐高溫的材料,且金剛石中的12C與快中子能直接發生核反應,本專利設計可應用于快中子的探測,如中子能譜測量、計數、束流監測和位置分辨等。
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