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    微光顯微鏡裝置

    830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:37
    本實用新型提供一種微光顯微鏡裝置，其特征在于，包括：微光顯微鏡、光路裝置、光探測裝置及探針，其中，所述光路裝置包括呈預設夾角的第一光反射面以及第二光反射面，待測樣品設置于所述第一光反射面的上方，所述光探測裝置設置于所述第二光反射面的上方，所述待測樣品的激發光從待測樣品的背面發出，并經由所述第一光反射面以及第二光反射面反射后，入射至所述光探測裝置內。本實用新型在待測樣品不需要做任何調整的情況下，同時兼備正面EMMI分析功能和背面EMMI分析功能，操作方便，適用性廣，有效降低了芯片失效分析成本并提高分析效率。而且，本實用新型都是從正面下探針，進一步提高了操作的便利性和工作效率。
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