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    膜基界面殘余應力的表征方法

    777   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:54
    本公開提供了一種膜基界面殘余應力的表征方法，屬于表面工程技術領域。該方法包括在基體表面形成薄膜，獲取基體表面形成薄膜后的實際形變參數；根據基體表面形成薄膜后的實際幾何尺寸和材料性能參數，建立有限元分析模型；施加熱載荷，獲取所述有限元分析模型中膜基幾何模型的模擬形變參數；當所述模擬形變參數與所述實際形變參數的差值在閾值范圍內時，獲取所述膜基幾何模型的膜基界面處的剪切應力或最大主應力，采用所述剪切應力或最大主應力表征膜基界面殘余應力。本公開提供的膜基界面殘余應力的表征方法，其獲得的膜基界面的殘余應力的準確性高，可進一步用于表征膜基結合性能，預判殘余應力所致的薄膜界面失效行為。
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