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    獲取高清晰聚焦離子束加工截面圖像的方法

    1145   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:00:57
    本發明提供了一種獲取高清晰聚焦離子束加工截面圖像的方法,該方法包括以下步驟:A、將需要進行分析的樣品置于聚焦離子束儀中進行截面切拋加工,得到樣品截面;B、將樣品從聚焦離子束儀中取出,使用腐蝕液對樣品進行截面腐蝕;C、將樣品截面進行沖洗和吹干;D、將樣品放入場發射電子顯微鏡中,找到截面后傾斜30°～45°,進行截面的二次電子像觀察,獲得高清晰的聚焦離子束截面樣品圖像。本發明有如下優點:本發明方法能夠有效、高質量地獲得高清晰的聚焦離子束截面樣品圖像,為失效分析提供結構截面分界清楚的截面形貌信息。
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