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    判定異常短接位置的電壓襯度方法

    1004   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:23
    本發明公開了一種判定異常短接位置的電壓襯度方法，包含如下步驟：選取樣品，將樣品研磨至懷疑的層次；對懷疑區域多次掃描并相應存儲電壓襯度照片，觀察目標區域內，有無電壓襯度表現異常的單個區域，以及有無跟隨變化的兩塊或多塊區域；對觀察到有異常的單個或多個區域，采用短接到地的方式，放大電壓襯度像的異常程度，找到懷疑短接點；明確短接點之后，采用聚焦離子束斷面觀察、透射電鏡樣品制樣方式進行制樣，觀察短接處成分。通過上述方法能快速準確判斷集成電路存在異常短接的位置及發生短接的成因，提高集成電路失效分析的效率。
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    聲明：
    “判定異常短接位置的電壓襯度方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    失效分析
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