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    微電子器件可靠性快速評價方法

    756   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:01:43
    微電子器件可靠性快速評價方法，屬于微電子技 術領域。本發明的步驟為：1)先測量出微電子器件焦耳熱溫升； 2)測量該微電子器件的失效敏感參數P在選定溫度范圍內分別 在不加和加電應力條件下隨溫度Tj變化的數據，并分別繪制曲線且擬合成直線；3)取3組微電子器件，在三種不同電應力的條件下，進行溫度斜坡試驗，得到每組微電子器件的平均失效激活能、平均失效時間、平均失效溫度范圍；4)計算出公式： 中的系數A、m、n；5)計算失效敏感參數P所承受的電熱應力的能量；6)計算微電子器件在V、j和Tj分別為正常工作條件下的數值時的壽命τ。本發明可使試驗周期縮短、所需試驗樣品少，大大降低了成本，同時能夠給出單樣品的壽命。
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    “微電子器件可靠性快速評價方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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