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    基于雙F?P腔的高溫剪應力傳感器及其制備方法

    1614   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:02:32
    本發明屬于微機電系統(MEMS)領域，尤其涉及一種微型高溫剪應力傳感器。該高溫剪應力傳感器，采用雙F?P腔測量隔板前后壓差的方式實現剪應力的測量，解決了采用電學信號測量無法實現高溫測量的難題，有效提升了剪應力傳感器的耐高溫性能。同時，該傳感器采用F?P腔的測量方式，器件結構封閉，有效解決了高焓流場環境下污染造成的傳感器失效問題。傳感器采用MEMS技術一體化加工完成，結構強度較高，在高速流場環境下不易發生隔板斷裂失效。本發明提出的傳感器制作工藝簡單，可采用碳化硅、藍寶石等耐高溫材料完成傳感器制作，進一步提高傳感器的耐高溫性能。
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