本發明公開了一種評估平板顯示(Flat?Panel?Display,簡稱FPD)產品在制造中靜電放電(Electro?Static?Discharge,簡稱ESD)敏感度的方法,包含以下步驟:A、建立FPD產品在前端制造工序中的電子器件結構仿真模型;B、根據步驟A的仿真模型建立FPD產品前端制造工序中的ESD失效情形仿真模型;C、根據步驟B的仿真模型建立FPD產品前端制造工序中的ESD失效敏感度測試方法,采用本發明,FPD制造工廠可以掌握自己的FPD產品的ESD敏感程度,并據此可以在工廠中進行合理的靜電防護規劃設計,從而實現FPD產品生產制造階段有效的靜電防護保護目標。
聲明:
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