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    在線監控柵氧化層完整性的方法

    1230   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:02:36
    本發明提供一種在線監控柵氧化層完整性的方法，不需要重新設計大面積的測試結構，不犧牲量產品上的面積，不需要額外投片用于工藝產品監控，節省了成本；以大于或等于根據上述方法獲得的最小樣本數進行柵氧化層完整性測試，且測試中每個GOI測試結構僅測試預定失效模式電壓下的單點電流值，測試速度很快，對量產品排隊時間Q-time不會造成影響；由于是針對當前工藝一段時間內量產品上GOI測試結構的數據收集，所以能夠幫助準確判斷當前工藝某一區間內量產品的柵氧缺陷的問題，及時發現柵氧化層完整性的可靠性問題，實現了在線實時監控并及時發現問題的作用。
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    聲明：
    “在線監控柵氧化層完整性的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    失效分析
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