• <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>
  • 合肥金星智控科技股份有限公司
    宣傳

    位置：中冶有色 >

    有色技術頻道 >

    有色金屬技術

    礦山技術

    冶金技術

    材料制備及加工技術

    環境保護技術

    分析檢測技術

    > 分析檢測技術

    > 失效分析技術

    > 復合結構的MEMS微加熱芯片及其制造方法與應用

    復合結構的MEMS微加熱芯片及其制造方法與應用

    1036   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:05:32
    本發明公開了一種復合結構的MEMS微加熱芯片及其制造方法。所述MEMS微加熱芯片包括支撐框架以及懸空設置于支撐框架中的復合薄膜，所述復合薄膜包括沿設定方向依次設置的下絕緣層、隔熱層、加熱電極層、中絕緣層、導熱層、測試電極層以及上絕緣層，下絕緣層用以將加熱電極層與支撐框架電學隔離，隔熱層用以將加熱電極層與支撐框架熱隔離，中絕緣層用以將加熱電極層與測試電極層電學隔離，上絕緣層用以將測試電極層與支撐框架電學隔離。本發明的微加熱芯片具有良好熱穩定性，以聚合物作為隔熱層，可提高熱學靈敏度。同時，采用加熱電極層和測試電極層鍵合工藝，可有效避免在單面制備工藝過程中由于薄膜本身應力造成的器件失效，提高器件良率。
    登錄解鎖全文
    聲明：
    “復合結構的MEMS微加熱芯片及其制造方法與應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
    分享 0
             
    舉報 0
    收藏 0
    反對 0
    點贊 0
    標簽：
    失效分析
    上一個：數碼照相設備及其獲取地理標簽的方法
    下一個：應用于家庭別墅場景的能量滾動優化管理方法

    與 “復合結構的MEMS微加熱芯片及其制造方法與應用” 相關技術

    ? 廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
    ? 鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
    ? PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
    ? 材料用無損檢測裝置
    ? 金屬探傷儀
    ? 金屬制品無損檢測智能設備
    ? 用于金屬的超聲波無損檢測設備
    ? 稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
    ? 金屬材料裂痕無損檢測設備
    ? 快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

    相關失效分析設備推薦

    微機控制環剛度專用試驗機
    便攜土壤重金屬檢測儀
    BOD快速測定儀
    高低溫壓力拉力/疲勞試驗機
    VOC氣體檢測儀（數據存儲版）
    全國熱門有色金屬技術推薦
    江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
    展開更多 +

     

    中冶有色技術平臺

    最新更新技術

    ?廢水廢氣聯產生物油的裝置及其方法
    ?鈦合金厚板的水切割裝置及水切割方法
    ?PVD埃米金薄膜載體及其制備方法
    ?材料用無損檢測裝置
    ?金屬探傷儀
    ?金屬制品無損檢測智能設備
    ?用于金屬的超聲波無損檢測設備
    ?稀有金屬表面缺陷無損檢測裝置
    ?金屬材料裂痕無損檢測設備
    ?快速可連續測試高溫楊氏模量的裝置及方法

    報名參會
    更多+

    第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
    第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
    2025年07月09日 ~ 11日
    第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
    第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
    2025年07月11日 ~ 13日
    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
    2025年07月16日 ~ 18日
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
    2025年07月16日 ~ 18日
    第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
    第二屆全國海洋工程及船舶材料技術交流會
    2025年07月18日 ~ 20日

    報告下載

    1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
    下載:139
    2 取、制樣安全淺析
    下載:131
    3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
    下載:108
    4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
    下載:99
    5 樣品變質引起采制樣和結算問題
    下載:96
    6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
    下載:95
    7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
    下載:93
    8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
    下載:91
    9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
    下載:90
    10 非常規礦產品取制樣方法的探討
    下載:89
    赤泥綜合利用研究報告2025
    推廣

    熱門技術
    更多+

    1防爆閥保護膜
    2壓力平衡機構
    3水電站的尾水預埋件
    4化工礦產有色金屬的檢測機構
    5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
    6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
    7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
    8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
    9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
    10便攜式礦山測量激光儀
    衡水宏運壓濾機有限公司
    宣傳
    環磨科技控股（集團）有限公司
    宣傳

    發布

    在線客服

    公眾號

    電話

    頂部
    咨詢電話：
    010-88793500-807
    專利人/作者信息登記
    久爱国产精品一区免费视频_无码国模国产在线观看_久久久久精品国产亚洲A_国产综合精品无码
    • <tr id="qwu6y"></tr>
  •
    • <menu id="qwu6y"><wbr id="qwu6y"></wbr></menu>