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    帶監控蝕刻劑成份的高精度傳感器的自動蝕刻劑再生系統

    1390   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:05:35
    本發明公開了一種在蝕刻劑再生系統中用來監測各種蝕刻劑顏色濃度的高精度傳感器。該傳感器包括一個由派熱克斯玻璃(Pyrex)或類似材料制成的管狀感應室(1)和一個圍繞該感應室(1)的一部分的光電管殼體。感應室(1)包括一個延伸進感應室(1)內部的桿狀延伸體。光電管殼體提供光源(5),最好是發光二極管(LED)或激光,和一個光電探測器(7),兩者通過光電管殼體內的孔光耦合。在附屬于蝕刻機器的再生設備中使用兩個這樣的傳感器,以便蝕刻銅、鐵、不銹鋼或其它材料。在另一實施例中,利用多個傳感器來探測蝕刻劑的多個成份,這些成份依賴于所蝕刻的材料和所用蝕刻劑。利用兩套傳感器的系統特別適用于這樣的蝕刻劑:當充分再生時它能很好地透射通過一種顏色的光;而當完全失效時,它能很好地透射通過另一種顏色的光。
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    失效分析
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