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    LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器

    1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:05:36
    本發明為一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，主要由基座、壓力敏感膜片、光纖、插芯及尾柄組成。本發明采用LTCC技術一體化制造直接接觸高溫的壓力敏感膜片和基座，用高溫膠水將光纖固定在尾柄及插芯內，采用陶瓷燒結技術或高溫膠水將插芯與基座連接，使光纖端面與壓力敏感膜片平行放置構成法珀腔，通過光纖傳感技術測量壓力導致的膜片撓度變化，從而進行壓力測量。本發明解決了高溫下熱應力不匹配導致的傳感器失效問題。另外，采用光纖傳輸可以隔絕高溫，消除高溫對信號處理電路的影響。在超高溫環境下，所制作的壓力傳感器可以實現寬頻帶的原位壓力測量。
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    聲明：
    “LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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