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    真空封裝的光纖光柵傾角傳感器、制造方法及應用

    828   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:20:03
    本發明屬于光纖光柵傾角傳感器設計技術領域，公開了一種真空封裝的光纖光柵傾角傳感、制造方法及應用，所述真空封裝的光纖光柵傾角傳感器，包括應變懸臂梁、擺錘、測量光纖光柵、傳感器瓶蓋以及傳感器；所述真空封裝的光纖光柵傾角傳感器的制造方法包括：制作傳感器應變懸臂梁；在應變懸臂梁上對光纖光柵進行封裝；傳感器整體的拼裝與封接。本發明采用玻璃封裝的光纖光柵傳感器，外殼制造相比于傳統金屬價格更加低廉，在制作工藝上更易于將外殼內部環境制成真空，防止內部基片發生腐蝕，耐久性強；在封裝工藝上，將環氧樹脂替換成為封接玻璃粉；光纖光柵元件不會因為封裝體的老化脫落粘貼失效而損壞；并且在測量結構里無需再添加溫度補償光柵。
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