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    基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法

    720   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:20:06
    本發明公開了一種基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法，包括：對小樣本失效數據進行處理，所述處理包括數據清洗與特征提取，數據集成與變換；建立基于確定分布、大樣本、多源信息的可靠性評估模型，根據可靠性評估模型進行數據可靠性評估；基于時效性和有效性下數據的健康狀態評估，根據評估結果進行預防性維修決策；基于深度學習進行數據的特征提取、基于深度置信網絡進行特征診斷、基于診斷結果進行預測性狀態維修決策；本發明能夠提高維修效率，節約維修資源。
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    “基于業互聯網平臺的半導體制造設備維修方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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