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    光刻設備硅片承載臺、組裝方法及光刻設備

    1251   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:20:07
    本發明提供一種光刻設備硅片承載臺、及其組裝方法和光刻設備，涉及光刻設備的技術領域。其中，光刻設備硅片承載臺，包括短行程模塊、轉接結構和橋接板組件，轉接結構與短行程模塊固定連接，轉接結構與橋接板組件可拆卸地固定連接。該光刻設備硅片承載臺，通過將橋接板組件與橋接板組件可拆卸的固定連接，當測量硅片臺和曝光硅片臺發生碰撞導致橋接板組件發生破壞，或橋接板組件的上表面的疏水涂層因時間或碰撞發生失效時，將轉接結構與橋接板組件拆開，更換發生損壞的橋接板組件。
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    “光刻設備硅片承載臺、組裝方法及光刻設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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