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    基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器

    927   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 09:37:13
    一種基于微機電系統技術的硅電容真空傳感器，涉及微機電系統（MEMS）傳感器和真空傳感器制造領域，包括上極板、下極板、中間絕緣層、真空腔以及上下極板上的電引線焊盤，真空腔是上極板與中間絕緣層間、或者上極板、中間絕緣層與下極板間形成的密封腔，真空腔內設計有絕緣支撐柱陣列，所述絕緣支撐柱的頂端面與上極板間留有空隙。本實用新型能有效測量高真空度、覆蓋真空度范圍大、制作工藝簡單，有效解決現有技術的微型電容薄膜傳感器存在的敏感薄膜破裂、粘附失效以及所用玻璃材料放氣等問題。
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